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2021-12-25T19:12:24+00:00
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研磨工艺百度百科
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化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究《复旦大学》2009年硕士论文
化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究 【摘要】: 铜作为新的互连材料被引入集成电路的制造之后,以及大马士革工艺的采用,带来了新的工艺挑战。 铜在化学机械研磨面临的铜腐蚀问