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碳化硅生产段工艺流程图

碳化硅生产段工艺流程图

2020-05-11T10:05:40+00:00

技术碳化硅产业链条核心：外延技术知乎知乎专栏

技术碳化硅产业链条核心：外延技术碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，碳化硅产品从生产到应用的全流程历时较长。以碳化硅功率器件为例，从单晶生长到形成衬底需耗时1 个月，从外延生长到晶圆前后段加工完成需耗时612 个月，从器件制造再到碳化硅产业链研究知乎知乎专栏

一文了解碳化硅（SiC）器件制造工艺 ROHM技术社区

1 Dec 2022 其中碳化硅因其优越的物理性能：高禁带宽度、高电导率、高热导率，有望成为未来最被广泛使用的制作半导体芯片的基础材料。 SiC 器件的制造是保证其优良应用的关键，本文将详细介绍SiC器件制造的离子 2、衬底长晶完成后，就进入衬底生产环节。经过定向切割、研磨（粗研磨、精研磨）、抛光（机械抛光）、超精密抛光（化学机械抛光），得到碳化硅衬底。衬底主要起到物理碳化硅产品的应用方向和生产过程知乎知乎专栏

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9 Sep 2020 3，生产自动化程度较高，每班生产人员为湿法制砂一半以下。4，投资回收期短，一般个月可收回投资。五、碳化硅破碎工艺方案选择1、破碎工艺流程的选择，首先针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状，分析对比了切片、薄化、抛光加工工艺机理，指出了加工过程中的关键影响因素和未碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势知乎

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17 Nov 2020 3，生产自动化程度较高，每班生产人员为湿法制砂一半以下。 4 ，投资回收期短，一般 3 个月可收回投资。五、碳化硅破碎工艺方案选择 1、破碎工艺流程的选碳化硅生产工艺流程简述如下: ⑴、原料破碎采用锤式破碎机对石油焦进行破碎,破碎到工艺要求的粒径。 ⑵、配料与混料配料与混料是按照规定配方进行称量和混匀的过程。本项目碳化硅生产工艺流程百度知道